【聚集】深紫外全固态激光器（DUV-DPL）研发难度大 我国是全球仅有生产国

  【聚集】深紫外全固态激光器（DUV-DPL）研发难度大 我国是全球仅有生产国

  深紫外全固态激光用具有线宽窄、光子能量高、光子流密度大、光束质量高、方向性好、可靠性强、体积小等特征，可以输出低重频至高重频、纳秒、皮秒、飞秒激光。

  深紫外全固态激光器，也称为深紫外全固态激光光源，英文简称DUV-DPL，是使用半导体激光器（激光二极管）泵浦深紫外非线性光学晶体发射深紫外激光的设备。我国在全球深紫外全固态激光器商场中处于领先地位。

  全固态激光器（DPL），是中心器材均为固体，没有液体、气体的激光器，即泵浦源、激光介质均为固态，其将半导体激光器与传统固体激光器长处集于一体，是一种新式、高功率、高效率、高可靠性、长寿命激光器，应用范畴正在不断拓展。全固态激光器可以输出红光、绿光、蓝光、紫外光等可见光与不可见光。

  深紫外光（DUV），是波长小于200nm的光，是不可见光，其研讨含义在于，现在已发现的材猜中，超越一半的资料难以对其进行特征剖析，但这些资料能吸收深紫外光，基于此可研讨资料特性。深紫外全固态激光器使用非线性光学晶体进行波长转化，可以发射深紫外光。

  依据新思界工业研讨中心发布的《2024-2029年我国深紫外全固态激光器（DUV-DPL）职业商场深度调研及发展前途猜测陈述》显现，深紫外全固态激光用具有线宽窄、光子能量高、光子流密度大、光束质量高、方向性好、可靠性强、体积小等特征，可以输出低重频至高重频、纳秒、皮秒、飞秒激光，在半导体（光刻机）、光存储、光通讯、生命科学、医学、仪器仪表、工业精细加工、环境监督测定等多个范畴均具有巨大发展潜力。

  进入21世纪，我国全固态激光器知识产权系统建造完好，工业链布局完善，在全球商场中的竞争力继续增强。深紫外全固态激光器以半导体激光器（激光二极管）为泵浦源，以非线性光学晶体为激光介质，因为研发难度大，一直以来全球缺少深紫外非线性光学晶体，限制了深紫外全固态激光器技能发展。

  20世纪90年代初，我国首先发现一种深紫外非线性光学晶体，即KBBF晶体，2015年，我国又研发出LSBO晶体，现在仍是全球仅有生产国。我国非线性光学晶体研发才能在全球商场中处于领头羊。在此基础上，我国研发出深紫外全固态激光器。深紫外非线性光学晶体加工难度大、变频技能难度大，现在我国仍是全球仅有可以量产深紫外全固态激光器的国家。

  新思界职业剖析的人说，以深紫外全固态激光器为光源，我国现已制造出拉曼光谱仪、电子能谱仪、电子显微镜、光化学反响仪等多种精细仪器，这些仪器在推进新资料、半导体、催化剂等研讨，以及电子信息、通讯、生物学、医学、物理学、化学等技能进步方面发挥及其重要的效果。我国科学院是我国代表性深紫外全固态激光器研讨机构。

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