半导体光刻机 能提供核心零部件的五家A股公司

  近日，ASML发布声明表示荷兰政府的出口管制并不涉及所有浸没式光刻设备，只涉及“最先进”设备。ASML将“最先进”设备定义为2000i及之后的浸没式光刻系统。根据ASML官网，1980Di可能是管制之外最先进的设备，其光刻精度≤38nm，并通过多重曝光可以生产14nm以上芯片。ASML的表态反映我国晶圆厂主要扩产的28nm及以上产能的光刻机预计能得到供应。

  从更宏观角度，费城半导体指数观察海外半导体行业整体情况。该指数涵盖了17家IC设计商、6家半导体设备商、1家半导体制造商和6家IDM商，大部分以美国厂商为主，能较好代表海外半导体产业情况。

  数据来看，3月13日-17日当周，费城半导体指数继上周震荡下行后呈现稳步向上态势。更长时间维度看，指数在进入2022年下行通道后，2023年以来复苏迹象明显，处震荡上行行情。

  目前国内大部分产线不受荷兰光刻机出口限制影响。在中国与ASML有直接供应关系的企业主要是芯片制造商，有中芯国际、华力半导体、长江存储等中国企业，还有三星的西安工厂、台积电南京厂、英特尔大连厂、无锡SK海力士厂等外资企业。

  根据经济观察报的报道，目前全国各地建设的半导体厂约有数百家，除了头部的半导体厂，真正能用上浸润式DUV的工厂并不多，整体的建设处于尚未形成规模效益的初期阶段，月产能达到数十万片晶圆的产线是非常少的。同时，这些产线不涉及先进芯片，大多数都用在生产技术相对成熟的芯片，如功率器件等。

  光刻机是制造芯片的核心装备，制造难度极大，国产光刻机仍较为落后。目前高端光刻机制造领域，全球只有少数几家公司能掌握，那就是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能。中低端领域，国产光刻机龙头上海微电子（SMEE）能够触及。目前，上海微电子已经能实现90nm量产（600系列光刻机），正在攻克28nm光刻机，与ASML的技术实力仍有很大的差距，国产光刻机亟待突破。

  在光刻机零部件中，KBBF晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。2013年，我国研制的全球首个深紫外固态激光器通过验收，成为当时全球唯一能制造实用化深紫外全固态激光器的国家，为国产DUV光刻机行业发展奠定坚实基础。而光学透镜则是保证光刻机高成像质量的关键组件，我国茂莱光学（688502）的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货，助力我国半导体光刻机国产化。

  公司专注于精密光学器件、光学镜头和光学系统的研发、设计、制造及销售，基本的产品包括透镜、棱镜和平片（多光谱滤光片、荧光滤光片、太空反射镜等）。在半导体检测及光刻机领域，公司研发生产的半导体检测设备光学系统已成功应用于国际有突出贡献的公司KLA、Camtek的半导体检测设备中；公司研发的精密光学器件已应用于国产光刻机中，为光刻机国产化提供了重要支撑，助力我国国产光刻机的技术发展。公司2022上半年光刻机应用收入为466.05 万元，其中透镜产品收入为244.33万元，上海微电子是公司光刻机领域最主要的客户。

  公司可提供光刻机曝光系统里核心元器件——光场匀化器，供应给世界顶级光学企业A公司。同时与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，亦逐步向日本市场进行渗透。2022年起得益于半导体市场DUV光刻市场需求强烈，计算机显示终端产能扩张迅速，应客户要求公司已于2022年在德国完成产能扩充，未来公司在A公司的占有率将逐步提升，同时公司与A公司也有意向进一步往光学模组等产品品类展开合作。2022上半年，公司半导体激光系列及航天微电子元器件共收入3540.77万元，2022年前三个季度，公司光刻用光场匀化器收入增长近90%，公司预期将在未来几年维持三位数增长。

  公司产品大多数都用在固体激光器、光纤激光器的制造，是前述激光器系统的关键元器件，部分精密光学元件产品应用于光通讯、AR、激光雷达、半导体设备、光学检测设备、分析仪器和科研等领域。公司积极投入半导体光学研发，超精密光学产品线主要面向半导体客户，并于2022年12月完成新设立子公司福建至期光子科技有限公司聚焦超精密光学产品研制生产。

  公司主要是做各类精密光学元组件、光纤器件研发、生产和销售。据2022年报披露，公司多波段合分束器已完成产品研究开发，成功进入半导体微电子设备厂供应链。在光纤激光领域，公司与行业主要的光纤激光器厂商建立了合作伙伴关系，主要客户包括R客户、nLIGHT等，其中nLIGHT是世界领先的高功率半导体激光器厂商，R客户为全球知名的光纤激光器企业。

  公司主要是做光学显微镜、光学元件组件和其他光学产品的研发、生产和销售。半导体领域，至2022上半年，自主研发生产的应用于PCB无掩膜激光直写光刻设备的光刻镜头在手订单充足，保持稳健增长。

  茂莱光学（688502）、炬光科技（688167）、福晶科技（002222）、腾景科技（688195）、永新光学（603297）。

  风险提示：宏观经济复苏没有到达预期，美国加息超预期，居民消费复苏没有到达预期，新冠疫情反复，地理政治学不稳定等风险等。